Erigida en el Parque de San Onofre, los orígenes de esta ermita se remontan a 1321. Por aquel entonces se trataba de un eremitorio de estructura muy sencilla, cuyo aspecto cambió sustancialmente con las intervenciones realizadas tras la ampliación de lo que fue el edificio original en 1547, tal como explica Maite Cebrián García en su trabajo sobre esta construcción emblemática para Quart de Poblet. Ha sido restaurada recientemente.
El 23 de octubre de 2003, el arzobispo de Valencia, Agustín García-Gasco presidió la ceremonia de dedicación y consagración de la ermita, que acoge la parroquia de la Madre Santísima de la Luz desde el 13 de julio de 1971
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